氦质谱检漏仪的主要工作原理

2026年10月28日 16:41 来源：北京华仪通泰环保科技有限公司

氦质谱检漏仪是基于质谱原理、以氦气为示踪气体的高精度密封检测设备，是目前工业领域检测微泄漏的核心装备。

产品应用：

汽车与运输：热处理、检漏与下线测试 (EoL)、航天研究、电子束焊接、3D打印

电池：检漏与下线测试 (EoL)

沼气处理：变压吸附 (PSA) 提纯、循环系统、膜分离提纯

碳捕集：胺法吸收、膜分离捕集、直接空气捕集

化工：实验室真空、冷冻干燥(冻干)、检漏

显示技术：进出料锁室 (Load Lock Chambers)、等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)、物理气相沉积 (PVD)

氢能经济：检漏与下线测试 (EoL Testing)

冶金：压铸、真空烧结、电子束焊接、真空钎焊/焊接、3D打印、热处理

制药和生物技术：冷冻干燥 (Lyophilization)、实验室真空、检漏

发电：冷凝器抽气、绿色能源发电、水室 (Waterbox) 预充水/排气、变压器干燥、变压器油净化

研发：冷冻干燥 (Lyophilization)、高能物理、中央真空系统、空间研究、高真空、低温技术、等离子体物理、检漏、实验室真空、质谱分析

制冷和空调：检漏与下线测试 (EoL Testing)

科学仪器：质谱分析、表面分析、电子显微镜

太阳能：电池制造、晶锭拉制、层压封装

工业气体：液化、绝缘真空、气体运输、气瓶充装

薄膜涂层：光学镀膜、装饰涂料、实验室涂层、玻璃涂层、耐磨涂层

氦气作为示踪气体具备分子直径小、穿透力强、化学性质惰性、空气中本底浓度仅5ppm的天然优势，检测全程无安全污染，背景噪声低。

检测流程分为三步：

氦气通过漏孔进入真空系统后，在质谱室中被灯丝发射的电子碰撞电离成氦离子。

氦离子在加速电场作用下进入磁场，受洛伦兹力偏转形成圆弧形轨道。

仅质荷比m/z=4的氦离子能精准通过磁场和接收缝到达收集器，转换为电信号，信号强度与氦分子进入量成正比，直接换算出精确泄漏率。

关键词：氦质谱检漏仪

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