护航智造 | 雪迪龙半导体行业智慧监测解决方案

2026年07月31日 09:37 来源：北京雪迪龙科技股份有限公司

半导体制造是5G、新能源汽车、人工智能等战略性产业的核心基础，工艺精密、管控严苛，对工艺介质纯度、晶圆品质、环保排放有着严苛要求。雪迪龙半导体行业智慧监测解决方案搭建高精度、智能化监测体系，解决高纯介质杂质管控严、晶圆微观缺陷难排查、生产排污监管难等问题。

超高纯大宗气体痕量杂质检测

电子级超高纯大宗气体是芯片制程关键介质，傲领Orthopure系列色谱仪覆盖超高纯气体杂质检测需求，采用HDID、FID检测器精准检测H₂、N₂、Ar、CO、CO₂、CH₄、NMHC等ppb级痕量杂质气体，把控超高纯气体纯度。

用于连续品质控制（CQC）的杂质测量

傲领Orthopure系列色谱仪

半导体掺杂与缺陷分析

芯片刻蚀工艺使用Cl₂、HBr、He、O₂等工艺气体，易造成晶圆表面杂质残留和微观缺陷等问题。飞行时间二次离子质谱仪（TOF-SIMS）作为半导体掺杂和缺陷分析的有效技术手段，可为半导体工艺优化提供科学的数据支撑。

半导体硅晶圆缺陷分析

飞行时间二次离子质谱仪

大气污染物排放监测

芯片光刻、刻蚀、‌薄膜沉积、清洗等工艺会产生酸性、碱性、有机类废气污染物。雪迪龙智能烟气在线监测系统，可对酸性废气排口、碱性废气排口、有机废气排口和废气焚烧排口实现废气排放精细化管控。

酸性气体监测-NOx、HF、HCl

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原位激光气体分析仪

碱性气体监测-NH₃

原位高温气体在线监测系统

有机气体监测-挥发性有机物（NMHC)、苯系物

挥发性有机物在线监测系统

颗粒物监测

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抽取式激光前散射粉尘仪

原位式激光后散射粉尘仪

水污染物排放监测

雪迪龙水质在线监测系统可实现废水排放主动管控，依据《排污单位自行监测技术指南电子工业》（HJ 1253-2022）要求，废水总排口需自动监测流量、pH值、化学需氧量、氨氮核心指标；半导体液晶面板制造（有表面涂装工序的）重点排污单位，增设总磷自动监测。

废水排放监测-pH值、CODCr、氨氮、总磷、总氮、重金属等

污染源水质在线监测系统

雪迪龙半导体行业智慧监测解决方案，兼顾生产品质和环保合规双重保障，适配半导体晶圆制造、芯片封测、液晶面板生产等各类电子制造企业的智能化监测需求。

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