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英福康四大“追光利器”登场！从氦检到质谱，助您攻克光伏量产难题
氦气检漏：
又快又准，漏点无处藏
太阳能电池技术飞速发展，但设备泄漏成为重大挑战。以PECVD为例，泄漏会导致反应腔气体成分和压力失控，在HJT电池制造中会造成非晶硅钝化层生长不均，导致开路电压和填充因子下降，光电转换效率大幅降低。
UL6000 Fab 移动式氦气检漏仪
专为大型工艺工具设计，搭载英福康 I·CAL 和 HYDRO·S 软件算法。紧凑机身可灵活穿梭于复杂产线，在所有测量范围内都能实现行业**的响应速度，让泄漏检测既准确又高效。
SMART-Spray 无线氦气喷枪
告别软管束缚和手动流量调节。无线自由，操作灵活，即使在狭窄的洁净室空间内也能精准定位漏点。兼容全系列 UL 检漏仪，是 UL6000 Fab 的*佳搭档。
薄膜沉积控制：
钙钛矿共沉积的“精算师”
钙钛矿太阳能电池的大规模制造，极度依赖纳米级超薄膜层和共沉积技术。
Cygnus® 2 薄膜沉积控制器应运而生：
可同时控制多达六个材料源，满足复杂共沉积工艺需求；
Auto-Z™ 功能实时计算未知材料的 Z 比值，无需再依赖猜测；
在超低沉积速率下仍能提供稳定、实时的数据反馈；
支持从实验室顺利过渡到量产设备，保障产品一致性。
真空计系列：
全量程覆盖，精准掌控每一道压力
从大气压到超高真空，英福康真空计为光伏制造全流程提供可靠数据支撑。
CDG020D
电容式压力计
氧化铝陶瓷传感器，结构紧凑，不受气体类型影响；
CDG025D
电容式压力计
防腐蚀陶瓷传感器，零点稳定性出色，可承受数百万次压力循环；
PSG500
皮拉尼真空计
数字 Pirani 技术，不锈钢传感器坚固耐用；
BAG552
热电离真空计
Bayard-Alpert 测量系统，双灯丝设计，精度、重复性与寿命俱佳。
无论您的工艺是 PECVD、PVD 还是蒸发镀膜，都能在这里找到适合的那一款真空计。
残余气体分析仪：
ppm 级监测，为真空腔体筑牢防线
在高效电池的制造过程中，腔体内微量的污染气体或空气泄漏，都可能引发批次性良率下降，甚至导致整炉产品报废。及时发现并控制这些“隐形威胁”，是保障工艺稳定性的关键。
Transpector XPR 3+ 残余气体分析仪：可在 20 mTorr 高压环境下直接工作，70eV 电子轰击电离生成独特的质谱峰分布。空气漏点、气体纯度、碳氢化合物污染——实时捕捉，快速响应。
Transpector® MPH 则支持多气体并行监测，广泛用于真空工艺、薄膜沉积等场景，稳稳守护工艺稳定与质量控制。
从 PECVD 到 PVD，RGA 技术正以 ppm 级精度构建全链条质量保障体系。
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