针对半导体行业的安捷伦 ICP-MS解决方案

单四极杆 ICP-MS Agilent 7900 ICP-MS 在一台紧凑的台式单四极杆仪器中实现了高性能。它是一种 经济有效的解决方案，适用于测量制程化学品和低纯度材料中的痕量污染。7900  具有处理大多数半导体样品类型所需的高性能和灵活性，可配备用于分析纳米 颗粒、有机溶剂和高腐蚀性酸的选件和附件。它是许多半导体公司的常规分析 仪器。

串联四极杆 ICP-MS Agilent 8900 ICP-MS/MS 是世界上一款真正的串联四极杆 ICP-MS ― 支持 MS/MS  和干扰消除能力。 操作的串联质谱仪，可提供准确分析最高纯度半导体材料所需的灵敏度 8900 #200 配置专门设计用于半导体应用，与安捷伦冷等离子体技术相结 合，能够提供灵敏度。稳健的等离子体、铂尖接口锥和可选的惰性 (PFA)  样品引入系统使其能够轻松处理甚至最难以分析的半导体样品和应用。 8900  体配置采用： 系统经过专门设计，宽度仅有 1060 mm，可节省洁净室台面空间。其半导 – 四个氩气管线质量流量控制器和第五条气体管线，用于增加可选气体（例如 用于有机物的 O2/Ar 或用于激光剥蚀的 He 载气） – 预设等离子体条件，保证日常每个操作人员的设置一致 – 氩气流路经过专门设计，可减小硅和硫的背景信号，保证检测限低 于 50 ng/L – 优化的接口真空设计和新型高传输率“s”型离子透镜，提供了高纯度半导体 试剂超痕量分析所需的灵敏度 – 用于所有典型半导体应用的方法、调谐和采集模板，其中包括用于低基质样 品（如超纯水 (UPW) 和过氧化氢）的行业标准冷等离子体模式