常见故障现象及处理方法系列一：质谱无法正常开机

常见故障现象及处理方法系列一：质谱无法正常开机

质谱长期未使用、异常关机后可能会出现无法正常开机情况，下面我们介绍一些质谱无法正常开机后的处理方法。

一、质谱开机步骤及易故障现象

1、检查气体压力是否正常（参考下图）。

若压力异常，调节相应阀门使之达到正常压力。

若出现无压力或调节阀门无效情况，请及时联系工程师检修氮气发生器或检修气路。

2、检查机械泵油量，如需要，请及时更换泵油（请参考：机械泵维护指南。（超链接）

），打开机械泵。

若机械泵无法开机或出现异响，请及时联系工程师检修。

3、约30min后打开质谱主机电源，质谱指示灯点亮，并在常亮之后开始闪烁。

若指示灯无法点亮，检查电源线是否松动。若无松动，请及时联系工程师检修质谱。

4、进入Analyst软件，激活质谱并打开质谱状态图标，查看仪器状态。

4.1以API 4000为例。

（1）、观察Backing Pump Status，Enabled表示机械泵正常运转。

若出现Disabled，请及时联系工程师检修机械泵。

（2）、观察Analyzer Turbo Pump，由初始Accelerating约几分钟后变为 Normal。

若一直处于Accelerating或者OFF，请及时联系工程师检修质谱。

（3）、观察Interface Turbo Pump，由初始Accelerating约几分钟后变为 Normal。

若一直处于Accelerating或者OFF，请及时联系工程师检修质谱。

（4）、观察Vacuum Gauge，由初始OFF，在Analyzer Turbo Pump、Interface Turbo Pump均达到Normal后约两分钟后显示真空度数。

若一直处于OFF，请及时联系工程师检修质谱。

注：质谱状态及其含义，请参考迈斯培训系列五：质谱报错怎么办？软件死机了怎么办？（超链接）

（5）抽真空过夜，观察Vacuum Gauge，达到要求真空度，质谱图标变为黄色，开机正常。

若无法达到要求真空度或质谱图标变红，请及时联系工程师检修质谱。

4.2 以Triple Quad 5500为例。

（1）、观察Backing Pump Status，Enabled表示机械泵正常运转。

若出现Disabled，请及时联系工程师检修机械泵。

（2）、观察Turbo Pump，由初始Accelerating约几分钟后变为 Normal。

若一直处于Accelerating或者OFF，请及时联系工程师检修质谱。

（3）、观察Vacuum Gauge，由初始OFF状，在Analyzer Turbo Pump、Interface Turbo Pump均达到Normal后约两分钟后显示真空度数。

若一直处于OFF，请及时联系工程师检修质谱。

（4）抽真空过夜，观察Vacuum Gauge，达到要求真空度，质谱图标变为黄色，开机正常。

若无法达到要求真空度或质谱图标变红，请及时联系工程师检修质谱。

注：待机状态（CAD=0）真空范围参考

二、质谱异常关机故障排查

质谱在运行过程中突然关机。

1、检查气体压力是否正常。若压力异常，调节相应阀门使之达到正常压力。

若出现无压力或调节阀门无效情况，请及时联系工程师检修氮气发生器或检修气路。

2、检查机械泵是否正常运转。

若机械泵无法运转，请及时联系工程师检修机械泵。

3、触摸分子泵外壳温度是否正常。

若分子泵温度异常高，请及时联系工程师检修质谱。

4、尝试开机，观察分子泵运转时声音是否正常。

若分子泵运转时有异常噪音，请及时联系工程师检修质谱。

5、若无法正常开机，请查看event log并联系工程师检修质谱。

请参考迈斯翔禾培训系列二：如何查看和保存 Event Log（超链接）

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