日本岛津氦质谱检漏仪MSE-2401（干泵内置紧凑式）

采用非接触式干泵为无尘室提供更优化的真空系统。

日本岛津氦质谱检漏仪基本检测方法如下：

喷氦法，真空氦罩法，吸枪法，钢瓶法，真空容器法，并列排气法等。

检漏仪：无论大漏还是小漏，它就是您的最佳解决方案。

不论多大或多小的泄漏都逃不过真空检漏仪的检测。不管是水、油、燃料、制冷剂、气体、蒸汽、空气或是真空的泄漏都能使用检漏仪进行检测。从微型电子装置到体积庞大的容器，从真空系统逸出的介质到进入真空系统的气体，检漏仪所使用的范围与普通工业产品的使用范围一样广。

氦气检漏仪：安全、定量、可重复。

氦气检漏仪是在真空条件下对泄漏探测和密封性检验的理想解决方案。示踪气体氦气是安全的、小而轻的分子，适合于探测小的泄漏。在真空检验情况下，氦气的检测范围在 10-2 和 10-13 Pa · m3 /s 之间。氦气检漏仪的泄漏检测是极精准、定量并且可重复的。节拍时间短也是一大优势。

性能和规格

外形尺寸

应用领域

• 半导体和平板显示器制造

• LED制造

• 镀膜设备

• 制冷设备和空调的元件及部件

• 低温压力容器

• 阀门气密性

• 检漏航空部件，配件及系统