高性能移动型检漏仪——ASM 390

移动式检漏仪针对快速达到抽速要求和响应时间短进行优化，以满足大部件测试的需要。

干式氦检和移动性

普发氦质谱检漏仪ASM 390 和 ASM 392 是理想的泄漏检测解决方案，可用于半导体和显示器产业以及其他要求高的应用，这些应用需要快速的抽空时间和高灵敏度。两种型号都符合 Semi S2 标准。

这些检漏仪都装备干式非接触前级泵和强大的高真空涡轮分子泵，从而使其成为清洁环境下各种组件泄漏测试的理想工具。ASM 392装有一台额外的涡轮分子泵，可以加速泄漏检测流程，降低生产设

备的停机时间。

耐用、精确、可靠

普发氦质谱检漏仪ASM 390 和 ASM 392 的开发是基于实现任何等级的操作人员都能上手的设备。他们都可以在最短的时间里提供好的性能和精确的结果，从而在现场提高效率。

符合人机工学且操纵灵敏

普发氦质谱检漏仪ASM 390 和 ASM 392 具有同样的平台，人机工学设计，尺寸和高度合适，前部有一辅助手柄，显示器可自由旋转、可拆卸，前部入口易于连接测试端口，可操作性方便，可用于各种测试场地，即使狭小的空间也应对自如。

精巧智能且用户友好

通过色彩清晰的宽屏触摸屏、带模块化隔仓和真空波纹管存储的集成工具箱，在使用地点所有需要的附件无不齐备，您会感叹泄漏检测多么轻松。

产品优势

• 性能好，灵敏度高，移动性强

• 采用无颗粒，洁净的干式ACP罗茨泵作为前级泵

• 无尘室兼容

• 快速进入测量状态

• 可选的通信接口

• 360度全彩触摸显示屏提供更佳的视野

• 9种可选语言及直观简便的菜单导航

应用领域

半导体 镀膜 太阳能 粒子加速 真空管件（贯通器材、阀门、波纹管、伸缩接头）镭射技术 超纯物质 电子元器件 航天 医药