日本岛津氦质谱检漏仪
MSE-2402/2403全自动便携式氦质谱检漏仪（干泵外置搭载式）

采用非接触式干泵为无尘室提供更优化的真空系统。

性能和规格（MSE-2402/MSE-2403）

外形尺寸MSE-2402

外形尺寸MSE-2403

应用领域

• 半导体和平板显示器制造

• LED制造

• 镀膜设备

• 制冷设备和空调的元件及部件

• 低温压力容器

• 阀门气密性

• 捡漏航空部件，配件及系统

氦气检漏仪：安全、定量、可重复。

氦气检漏仪是在真空条件下对泄漏探测和密封性检验的理想解决方案。示踪气体氦气是安全的、小而轻的分子，适合于探测小的泄漏。在真空检验情况下，氦气的检测范围在 10-2 和 10-13 Pa · m3 /s 之间。氦气检漏仪的泄漏检测是极精准、定量并且可重复的。节拍时间短也是一大优势。

手持式吸枪或喷枪通常是用氦气检测泄漏的方法。但也可以使用自动泄漏的探测解决方案，这种方法是独立于操作者，并提供相当高的探测速度。整体泄露检测的设计目的是为了获得预定的质量和组件的产量水平。

与传统的泄漏检测方法相比，例如如泡沫检验或压降方法，使用示踪气体的泄漏检测方法具有提供额外数据的优势。这些数据可用于改善生产工艺，并成功地检测到每一处泄漏。