ULVAC 爱发科 HELIOT MONO 氦检仪 紧凑型氦质谱检漏仪自动化产线集成方案

ULVAC 爱发科 HELIOT MONO 氦检仪 紧凑型氦质谱检漏仪自动化产线集成方案

ULVAC 爱发科 HELIOT MONO 是一款专为自动化产线集成开发的紧凑型氦检漏设备，在半导体器件、真空零部件、动力电池阀件、制冷零部件、MEMS 器件气密性检测场景大量应用。区别于传统大型氦检设备，MONO 机型体积紧凑，便于嵌入流水线、检测工装、自动测试工位，适配自动化扫码、自动上下料联动。

氦检灵敏度高，漏率检测稳定，支持氦气喷吹法、吸枪法、真空箱法多种检漏模式，可快速定位微小漏点，提前拦截气密性不良产品。设备自带通讯接口，支持对接 PLC、MES 系统，检漏数据实时上传，全流程追溯，满足半导体、新能源行业严苛的品质追溯要求。

ULVAC 爱发科作为真空企业，从真空镀膜、刻蚀设备、真空泵到氦检、残余气体分析仪器形成完整真空产品线。HELIOT 系列长期服务晶圆封装、真空元器件、车载传感器、医疗部件气密检测，设备故障率低，校准维护体系成熟，是精密气密检测的日系选型。