半导体光刻胶国产化进程

组分原料的研究、合成与验证

成品产量的验证

目前国产半导体光刻胶面临的技术瓶颈之一是批次稳定性的问题。不同批次间产品的物理化学性能差异会导致成品质量不稳定，因此在光刻胶成品阶段分析测试结果的准确性和稳定性极为重要。

半导体光刻胶解决方案总结

国内厂商正在积极布局光刻胶及其上游材料供应链，力求打破“卡脖子”的技术瓶颈。一些公司在中低端制程如 g 线、i 线光刻胶方面已经取得了一定的国产化成果。安捷伦半导体光刻胶分析解决方案是基于半导体光刻胶全产业链，从原料到光刻胶成品的质量管控体系。该解决方案全面覆盖了半导体光刻胶全产业链。通过先进的分析技术和精密的仪器设备，实现对原料和光刻胶成品的关键参数进行全面而精确的评估与监控；可以帮助光刻胶生产厂商提升生产效率，降低不良率。安捷伦通过深厚的行业经验和不断创新的技术能力，为半导体用光刻胶的质量控制树立了新的标杆。