XPS(X射线光电子能谱仪)丨一键模板套用,深度剖析数据批量分析So easy!
导读
近年来,随着我国材料、能源、微电子等领域的迅猛发展,表面科学已成为活跃的研究领域之一。X射线光电子能谱(XPS)技术作为一种常见的表面分析技术,在鉴定材料表面的化学性质与组成方面具备独特的优势。举个例子,金属表面通常都存在氧化膜,氧化膜的厚度与分布,随氧化时间与环境而不同,探明氧化膜的情况对了解金属表面状态至关重要。XPS深度剖析功能可以获得样品更深层次的信息,使用户可以对样品有更全面的了解。
岛津ESCApe软件可以很方便地对深度剖析数据进行分析,得到元素和化学态随深度的分布情况。今天,我们以案例的形式,介绍一个Ta2O5薄膜样品(在金属Ta表面有一定厚度的氧化膜),通过单氩离子进行15×20 s的刻蚀(单次刻蚀时间20 s,总刻蚀次数15次),如何通过一键模板套用,深度剖析分析元素随深度的变化,如何进行批量分析数据处理,一起来看看分析过程吧!(文末附完整操作视频哦~)
方法详情
批量荷电校正
批量添加本底
批量拟合
定量计算
数据导出
下面视频记录了本次案例的完整操作过程,欢迎观看!
本文内容非商业广告,仅供专业人士参考。
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