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上海伯东氦质谱检漏仪ASM310光刻机检漏
2021年05月19日 13:54
来源：伯东企业（上海）有限公司
氦质谱检漏仪光刻机检漏
上海伯东客户日本某生产半导体用光刻机公司, 光刻机真空度需要达到 1x10-11 pa 的超高真空, 因为设备整体较大, 需要对构成光刻机的真空相关部件进行检漏且要求清洁无油, 满足无尘室使用要求, 为了方便进行快速检漏, 采购伯东 Pfeiffer 便携式氦质谱检漏仪 ASM 310.
光刻机检漏方法: 采用真空模式检漏, 漏率值设定为 1x10-11pa m3/s.
1. 通过波纹管与光刻机真空系统连接
2. 使用喷枪, 喷扫管路, 腔体焊缝, 接头等部位, 如果存在超过设定漏率值的狭缝, 检漏仪会时时发出声光报警, 同时在屏幕上显示漏率值.
便携式氦质谱检漏仪 ASM 310 主要技术参数：
对氦气的最小检测漏率 | 真空模式 5E-13 Pa m3/s ,吸枪式 1E-8 Pa m3/s |
检测模式 | 真空模式和吸枪式 |
氦质谱检漏仪无油前级泵抽速 | 1.7 m3/h |
检测气体 | 4He , 3He, H2 |
响应时间 | <1s |
对氦气的抽气速度 | 1.1 l/s |
氦质谱检漏仪进气法兰 | DN 25 ISO-KF |
进气口压力 | 15 hPa |
通讯接口 | RS-232 |
工作温度 | 10-40 °C |
噪音水平 | < 45 dB (A) |
尺寸 | 350 X 245 X 141 mm |
重量 | 21 kg (46 lb) |
上海伯东主营产品：德国普发 Pfeiffer 涡轮分子泵，干式真空泵，罗茨真空泵，旋片真空泵；应用于各种真空环境下的真空计，氦质谱检漏仪，质谱分析仪以及美国考夫曼公司 KRI 离子源 离子枪 霍尔源，美国 HVA 真空阀门，Polycold 冷冻机，离子刻蚀机，Europlasma等离子纳米涂层设备等。
关键词：
检漏仪,测漏仪
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