TranspectorCPM 3残余气体分析仪
  • 暂无

    产地
  • 浙江杭州市

    所在地区
  • 2024-11-01 11:50

    更新时间
类型
代理商
联系人
王建峰
传真
0571-86894985
电话
0571-86894995
手机
13858065668

联系我时,请说明在化工仪器网上看到的,谢谢。

产品详细

INFICON Transpector CPM 一直是半导体行业市场*先的残余气体分析仪 (RGA) 过程监测系统。现在,Transpector CPM 3 通过集成经实践验证的泵送和进口系统与新型传感器和电子元件,达到业内*先的测量速度和灵敏度。Transpector CPM 3 是新型和现有半导体过程(例如,ALD、CVD、PVD 和蚀刻)的理想 RGA 过程监控器。

Transpector CPM 3 通过以下特性为合作伙伴提供经实践证实的投资回报率:业内*先的测量技术,稳健的适应性架构,易于维护,出色的产品支持。

功能

  • ALD、蚀刻、CVD 和 300 mm 除气残余气体分析仪 — 实现实时过程监测和分析

  • ALD 就绪,测量速度为每点 1.8 ms(每秒 555 点)

  • 在大多数苛刻 CVD 和蚀刻应用中,展现出经实践验证的耐久性和可靠性

  • 应用集成 — Transpector CPM 集成 FabGuard 软件,由 INFICON 高 级应用专家提供支持,是一款强大的过程监测与诊断工具

  • 紧凑尺寸 — 允许轻松集成到半导体生产设备

  • Hexblock™ 含三个压力进口并减少表面积,以zui小化表面反应时间和响应时间

  • 电容隔膜计 (CDG) — CDG 允许用户监测过程压力,并自动保护系统不出现压力偏移

  • 自动校准 — 确保长期数据稳定性和精度,以便进行各传感器和工具的腔室匹配




免责声明

以上所展示的信息由企业自行提供,内容的真实性、准确性和合法性由发布企业负责,化工仪器网对此不承担任何保证责任。

欢迎联系我

有什么可以帮您? 在线咨询