SEMICON China | 谱育科技全新发布EXPEC 7350S PLUS，助力助力半导体检测

2026年3月25日，以“跨界全球，心芯相连”为主题的全球半导体行业盛会——SEMICON China 2026在上海新国际博览中心盛大启幕。SEMICON China是中国首要的半导体行业盛事之一，囊括当今世界上半导体制造领域主要的设备及材料厂商，是产业链上下游技术交流与合作的重要平台。

谱育科技携多款半导体产业链关键检测设备重磅登场，并成功举办“芯之眼，中国芯”新品发布会，正式推出EXPEC 7350S Plus系列 三重四极杆ICP-MS，代表着半导体超痕量检测领域的国产新突

3月25日上午，谱育科技展台人气爆棚，新品发布会在众多行业专家、合作伙伴及媒体代表的共同见证下拉开帷幕。

谱育科技半导体业务总监 汤宏厚在致辞中表示，精准的检测能力已从技术需求升华为支撑中国半导体产业自主可控的战略刚需，这颗洞察极限的“眼睛”，必须掌握在我们自己手中。今天发布的EXPEC 7350S Plus ICP-MS/MS，正是为芯片制造打造的“中国芯之眼”。

随后，中国科学院上海硅酸盐研究所研究员 汪正、上海集成电路材料研究院有限公司检测分析事业部主任 李春华、中国地质大学（武汉）分析测试中心副主任 郭伟三位专家共同出席并见证新品发布。汪正研究员作为专家代表致辞，他表示，在半导体制造迈向埃米时代的今天，ICP-MS正是守护纯度生命线的“终极裁判”，这款新品的诞生为国产半导体产业擦亮了一双更为锐利的“眼睛”。他祝愿EXPEC 7350S Plus系列在客户端建功立业，为我国高端仪器事业贡献更大力量。

在随后的技术报告环节，谱育科技 吴智威博士作题为《高性能EXPEC 7350S Plus ICP-MS/MS全新亮相，助力半导体超痕量金属杂质检测》的专题报告。他指出，随着国产替代需求日益迫切，谱育科技推出升级款串联质谱EXPEC 7350S Plus，在灵敏度、抗干扰能力及自动化联用等方面实现大幅提升，针对典型半导体领域样品（湿化学品，晶圆杂质金属，硅烷，电子特气等）的检出能力稳定在sub-ppt水平，在覆盖半导体全场景超痕量检测需求的同时，显著提升的灵敏度水平将有力支持半导体量测端的数据质量管理，为主流&先进制程提供更严格的工艺规格与材料认证。

谱育科技在本次展会上集中展示了三大综合解决方案：超痕量金属离子检测解决方案、AMC微污染气体监测解决方案和半导体特气探测解决方案，覆盖从材料到环境、从实验室到产线的全流程检测需求，助力客户实现更可控的良率管理与产能提升。

谱育科技三大核心解决方案

立足于半导体制造超高精度检测需求

01超痕量金属离子检测

EXPEC 7350系列自2021年发布以来，历经多轮技术迭代，作为本次发布会的重磅产品，全新一代EXPEC 7350S Plus，实现从硬件制造到软件源码的100%完全国产化，成为半导体及高端制造领域国产化替代的标杆之作。

>> 核心创新点

· 全自主可控：核心部件及软件100%自主研制，摆脱对国外供应链依赖，全方位保障物料供应安全与数据隐私。

· 卓越分析能力：搭载自主研发的多次偏转离子传输系统与双提取透镜，实现sub-ppt级（10⁻¹⁵）超低检出限，精准满足12英寸晶圆前沿制程检测要求。

· 高效自动化：支持与国内外全自动VPD一体化联用，提供定制化自动化检测方案，深度适配国内高端制造产线。

· 敏捷定制研发：依托自主研发实力，快速响应本土用户需求，提供个性化合作方案，实现国产化替代深度适配。

02 AMC微污染气体监测

针对总酸（MA）、总碱（MB）和有机分子等污染物，谱育科技推出AMC在线监测系统，通过不同各类型气体分析仪以及便携GC-MS等分析仪器相互组合，针对不同场景实现自动测量，真正实现污染状态可视化，AMC污染物监控高效化。

03 半导体特气探测器

集中展出GDM-2100 Series特气检测仪、GTYQ-4000 Series隔爆型泵吸式气体探测器、GDM-3100 Series便携式特气检测仪（红外版）及GDM-1000系列固定式气体检测报警仪，可及时检测特气泄漏并输出报警信号，守护气体泄漏安全底线。

实战案例：产线应用的硬核答卷

EXPEC 7350系列在半导体检测领域已成功构建覆盖高纯湿化学品、光刻胶、硅烷、晶圆体/表金属残留以及高纯石英材料等关键材料的痕量杂质分析整体解决方案体系，目前该技术平台已在产业链上游实现规模化应用。

超痕量金属离子检测：EXPEC 7350系列已在国内多家大型半导体企业落地。某宽禁带半导体材料企业将其用于衬底抛光片、外延片及高纯试剂中痕量金属检测，经过半年使用，设备表现稳定，客户反馈：“检出限、稳定性、氧化物产率等关键指标全面超越国际同类标准，真正实现了高端材料检测的自主可控。”

在国内先进制程芯片制造企业和8+12英寸集成电路制造企业，EXPEC 7350系列有效覆盖G3~G5级化学品的质控要求，实现了G5级硝酸、氢氟酸、双氧水等试剂的过程品控。某12寸硅片制造企业采用VPD与7350S组合方案，实现晶圆表面金属离子沾污自动化监测。

特气泄漏探测：GDM-2100 Series半导体气体探测器可精准侦测40余种特气（硅烷、磷烷、三氟化氮等）。在某12英寸集成电路生产线建设项目中，30多种气体探测器为有毒有害气体建立实时在线监测体系，通过多层级报警联动大幅提升本质安全水平。该项目气体安全负责人表示：“GDM-2100系列覆盖30余种特气，响应迅速，为生产线安全运行提供了全天候保障。”

AMC微污染监测：AMC 1000微污染气体监测系统可实现洁净室酸、碱、VOC等ppb级连续监测，采样范围达200米，检出限低至0.1ppb。国内优异12英寸晶圆厂采用该系统后，实时反映污染物浓度变化，为洁净室环境管理和生产优化提供精准数据支持，显著提升良率、降低设备损耗。该厂环境工程师评价：“AMC 1000系统让洁净室污染从‘不可见’变为‘实时可见’，生产优化有了数据依据。”

作为推动检测装备自主化的重要力量，谱育科技凭借持续的技术积淀与产品迭代，有力推动了高端检测装备的国产化应用。

面向未来，谱育科技将持续加码研发投入，加速产品与技术迭代，进一步增强在半导体等高端制造领域的市场竞争力，与产业链伙伴携手共筑坚实的“中国芯”基石。